“实验室”215万元采购物理气相沉积设备

时间：2022-08-02 09:31:11来源：化工仪器网

今天，聚焦化工小新为大家分享来自化工仪器网的《215万元采购物理气相沉积设备》。

松山湖材料实验室成立于2018年，是广东省首批启动建设的四家广东省实验室之一。由东莞市政府、中国科学院物理研究所和中国科学院高能物理研究所共建。作为有影响力的新材料研发南方基地、未来国家物质科学研究的重要组成部分、粤港澳交叉开放的新窗口以及具有品牌效应的粤港澳科研中心，实验室为国家材料科学重大领域的研究和关键技术的创新突破，提供稳定、专业和先进的科学技术支撑和人才输出。

为了进一步提升实验室的能力，为科技成果的快速转移转化提供强力引擎，松山湖材料实验室计划采购新型仪器。5月15日，松山湖材料实验室委托国科东仪(广东)项目管理有限公司根据相关法律法规相项目编号为441900-202005-0099990033-0005的物理气相沉积设备组织公开招标采购。

招标公告显示，本项目预算215万元采购一套用于蓝宝石衬底的高质量氮化铝预沉积，为后续MOCVD生长GaN/AlN基LED发光器件提供衬底基础的物理气相沉积设备。据悉，该设备的气相沉积模块要求其在沉积过程中能够实现能够实现氮气、氧气与氩气三种气体的混合通入，氩气、氮气与氧气的气体大流量为200、200与5sccm；能够实现400~700 ℃的温度控制；加热利用近红外灯丝辐照装置，能够实现72秒内室温升至700 ℃的快速加热，且温度不均匀性小于3%；样品托具有自动传输功能，能够实现2至8寸片的自动传输。此外，其软件功应当能实现对气相沉积模块生长过程中条件的精确控制，包括氩气、氮气与氧气的分压，温度与溅射功率等。

在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体以及符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求的仪商可在2020年5月22日之前，到采购代理单位处获取招标文件，并在2020年6月5日9时30分之前将标书投递至广东省东莞市莞城街道旗峰路莞城段200号1单元中天大厦602开标室。

相信本项目仪器的投入使用能有效拓展实验室的各项工作，且本项目还落实了政府采购促进中小企业发展、支持监狱企业发展、促进残疾人就业、鼓励采购节能环保产品等政府采购政策，为此，希望感兴趣的仪商能积极参与本项目的招投标活动。

好了，关于“实验室”215万元采购物理气相沉积设备就介绍到这。